丙二酸单体的前体，HfO2和ZrO2薄膜的MOCVD。

丙二酸单体的前体，HfO2和ZrO2薄膜的MOCVD。

 

拉玛pothiraja，安高长玉，哈里什帕拉拉，Manuela冬天，罗兰菲舍尔，Anjana Devi

 

发表于19378558

 

摘要

 

新的Hf和Zr丙二酸配合物有合成的金属酰胺不同丙二酸配体（L =二甲基丙二酸hdmml，丙二酸二乙酯（hdeml），堤叔丁基丙二酸hdbml和双（三甲基硅基）丙二酸（hbsml）的反应。得到了HF所有丙二酸配体进行配八配位的单体化合物的类型4。相反，Zr只有hdmml hdeml产生八个协调的单体化合物类型ML4，而使用笨重的hdbml hbsml配体导致混合Alkoxo丙二酸六配位化合物的类型（ML2（或）2 ]。单晶X-射线衍射研究的所有的化合物的介绍和讨论，和它们被发现是单体。该配合物是固体和在溶液中，它们保留其单体性质，证明了核磁共振测量。相比经典的β-二酮络合物，[ M（acac）4 ]和[M（THD）4]（M = Hf，Zr；acac：乙酰丙酮；总谐波失真（THD）：- tetramethylheptadione），新的丙二酸化合物是更不稳定，分解在较低温度下具有较低的熔点。特别是，均系的丙二酸二乙酯络合物Hf和Zr在温度低至62摄氏度。此外熔体，化合物在空气中非常稳定，可以升华的定量。有前途的热性能，使得这些化合物的有机金属化学气相沉积（MOCVD）有趣。这是通过沉积HfO2和ZrO2薄膜的成功具有代表性的两个HF和锆配合物

 

 

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